電子線リソグラフィによる磁性材料の微細加工
(Micro fabricaions of magentic microstructures by electron-beam lithography)
機能性材料の3次元微細加工技術講演会. 2001-12-03. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:01:35 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:43 +0900