Real-Time Observation of Ultra Thin Silicon Oxide Film Growth by Rapid Ellipsometry.
(高速エリプソメトリーによる極薄酸化シリコン膜成長の実時間観察.)
第40回米国真空協会杓累灼角. 1993年11月15日-1993年11月19日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 00:44:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:25:49 +0900