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NiSi/Si薄膜の分析型超高圧電子顕微鏡による観察
(Observation of NiSi/Si Thin Film With an Analytical Ultra High Voltage TEM)

古屋一夫, 田中美代子, 萩原修, 大崎光明, , 斎藤藤鉄哉, 古屋一夫, 田中美代子, 萩原修, 大崎光明, , 斎藤藤鉄哉.
日本金属学会1995年春季大会. 1995年04月04日-1995年04月06日.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2017-02-14 11:06:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:32:25 +0900

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