TiN膜へのClイオン打ち込み量と摩擦速度が摩擦特性に与える影響
(XPS study on the effect of Cl+ dosage and sliding speed on the friction property of Cl+ implanted TiN film)
ECASIA03. 2003年10月05日-2003年10月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:09:28 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:43:03 +0900