バイアススパッタによる薄膜の面内配向性に及ぼすイオン照射効果
(Effect of ion bomberdment on in-plane texture of thin films by modified bias sputtering)
応用物理学会学術講演会. 1997年10月02日-1997年10月05日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:18:58 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:43:50 +0900