ＰＶＤ―，ＣＶＤ―ＳｉＣ皮膜のＡｒ＋イオン照射特性
(Characteristics of PVD- & CVD-SiC Films Irradiated by Ar+ Ions)
イオン源とその応用―ＩＳＡＴ’８０. 1980年06月24日-1980年06月26日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:02:18 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:25 +0900