バイアススパッタによるYSZ薄膜の面内配向制御.
(Control of In-Plane Texturing of YSZ Thin Films by Bias-Sputtering.)
応用物理学会. 1993年09月27日-1993年09月30日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:43:01 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:24:38 +0900