GaAs/AlAs多層構造のオージェ電子分光法スパッタプロフィルにおける深さ分解能パラメーターの最適化
(Optimization of Depth Resolution Parameters in AES Sputter Profiling of GaAs/AlAs multilayer Structures)
14th International Vacuum Congress (IVC-14). 1998-08-31.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:29:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:49:07 +0900