鉄薄膜への窒素イオン注入によるFe16N2の生成挙動に及ぼす膜厚及び低温注入の影響
(Effects of film thickness and low temperature on formation processes of Fe16N2 during nitrogen ion implantation into iron films)
イオン注入表層処理シンポジウム. 1997-11-21.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:51:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:27 +0900