ハロゲン吸着シリコン表面のエッチング：第一原理的研究
(Etching process at halogen-adsorbed silicon surfaces: first-principles study )
第32回表面科学研究会 . 2001年01月22日-2001年01月23日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:12:43 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:18 +0900