Effects of DC bias on plasma oxidation rate of solid surface
(固体表面のプラズマ酸化への直流バイアス効果)
’９４ＩＣＰＰ. 1994年10月31日-1994年11月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:53:27 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:30:31 +0900