パルス高電圧によるグロー放電を用いたプラズマイオン注入のイオンエネルギー分布のシミュレーション計算
(A simulation calculation of ion energy distribution of plasma based ion implantation using a glow discharge by pulsating high vo)
金属学会2001年秋季大会. 2001年09月22日-2001年09月24日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:24:43 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:18:51 +0900