集束イオンミリングによるSiのミクロ組織変化のTEM観察.
(TEM Observations of Structural Changes of Si by Focused Ion Milling.)
応用物理学会. 1991年03月28日-1991年03月31日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:20:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:11:26 +0900