炭化チタン皮膜のスパッタリングおよび水素捕獲に及ぼす組成の影響
(Stoichiometric Effect on Sputtering and Hydrogen Trapping of Ti-C Films)
日本原子力学会. 1987年04月01日-1987年04月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:49:43 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:05:40 +0900