活性化イオンプレーティングによるＭｏの窒化アルミニウムコーティングについて
(A Study about Aluminum Nitride Coatings by rf-Reactive Ion-Plating)
日本電気化学協会. 1980-10-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:02:23 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:28 +0900