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Influence of Ion Implantation and Ething on the Photoluminescence from Porous Silicon.
(多孔質シリコンからのフォトルミネッセンスに及ぼすイオン注入とエッチングの影響.)
先端材料技術国際会議. December 07, 1993-December 10, 1993.
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Created at: 2017-02-14 11:41:39 +0900 Updated at: 2017-07-10 17:27:20 +0900