Nanostructure fabrication by electron beam induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor
19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference . 2006年10月25日-2006年10月27日.
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作成時刻: 2022-09-05 11:52:53 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:52:53 +0900