多孔質シリコン層中の化学結合に及ぼす室温エージングの影響
(Effect of room temperature aging on chemical bonding in porus Si layer)
応用物理学会学術講演会. 1997年10月02日-1997年10月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:17:39 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:43:09 +0900