高周波イオンプレーティング法によるモリブデンの窒化ケイ素被覆
(Silicon Nitride Coatings on Molybdenum by RF Reactive Ion Plating)
化学蒸着国際会議. 1977年10月10日-1977年10月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:27:07 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:57:46 +0900