微小角散漫散乱X線による精密平面基板のナノスケール表面形状解析
(Nano-meter scale evaluation of engineering surface by grazing incidence X-ray diffuse scattering)
日本化学会 第７５秋季年会. 1998-09-14.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:30:28 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:49:36 +0900