Fabrication of amorphous carbon nitride films by hot-wire chemical vapor deposition
(ホットワイヤー化学気相成長法による非晶質窒化炭素膜の作製)
1st International Conference on Cat-CVD Process; 第1回触媒化学. 2000年11月14日-2000年11月17日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:07:09 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:17:29 +0900