陽極酸化多孔質アルミナを用いたマスク照射によるナノパターンニング
(Nano-patterning by Masked Ion Implantation Using Anodic Porous Alumina)
2008年春季第55回学術講演会. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:44:03 +0900更新時刻: 2018-06-05 12:13:14 +0900