ラマン散乱によるアモルファスシリコン膜中の水素量の定量
(Determination of Hydrogen Concentration in Amorphous Silicon Thin Films by Raman Spectroscopy)
第６１回応用物理学会学術講演会. 2000.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:06:13 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:09:08 +0900