第三元素を添加したＴｉＣスパッタ皮膜の性質
(Properties of TiC Film Doped with the Third Element by Magnetron Sputtering)
日本金属学会. 1983-04-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:04:12 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:00:50 +0900