プラズマ法による広面積基板上への面内配向YSZ膜の作製
(Preparation of in-plane Textured YSZ Films on Large-area Substrates by Plasma-beam Irracliation Technique)
表面技術協会第９１回講演大会. 1995年03月21日-1995年03月23日.
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作成時刻: 2017-02-14 11:01:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:31:30 +0900