SIとNF3の反応に関する量子化学計算
(QUANTUM CHEMICAL INVESTIGATION ON THE INTERACTION OF NF3 WITH SI SUBSTRATE.)
SYMPOSIUM F:MICROCRYSTALINE AND NANOCTYSTALLINE SEMICONDUCTORS (. 1998年11月30日-1998年12月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:32:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:38 +0900