電子線リソグラフィーによる微小変形測定技術の開発
(Development of a Deformation Measurement Method Using Electron Beam Lithography Technique)
日本材料学会 高温強度シンポジウム. 1987年12月17日-1987年12月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:16:10 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:06:26 +0900