スパッタリングによる超硬質炭素膜作製
(Preparation of Ultra Hard Carbon Films by Magnetron Sputtering.)
表面技術協会. 2000年09月28日-2000年09月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:41:58 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:07:53 +0900