遷移金属シリサイドのスパッタ速度：構成元素単体のスパッタ速度との比較
(The sputtering rate of transition metal silicides; comparison with that of elements)
第50回応用物理学関係連合講演会. 2003年03月27日-2003年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:14:57 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:39:02 +0900