NF3とシリコンの相互作用に関する量子化学的検討
(QUANTUM CHEMICAL STUDY ON THE INTERACTION OF NF3 WITH SI.)
化学工学会 第31回 秋季大会. 1998年09月29日-1998年10月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:32:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:37 +0900