Patterned Heavy-ion Implantation and Feasibility of Low Energy Ion Nanopatterning by RIE
(パターン重イオン注入とRIEによる低エネルギーイオンナノパターンニングの実現性)
Huntzville Ion Beam Institute 2009. 2009年07月12日-2009年07月17日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:24:49 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:42:29 +0900