Mo上のPVD,CVD-SiC被膜のHeビームエッチング下でのエロージョン挙動
(Erosion Behavior of PVD and CVD-SiC Films Coated on Molybdenum During He Beam Thinning)
Int'l Conf.Ion&Plasma Assisted Technologies. 1981-06-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:02:59 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:56 +0900