マイクロプローブを用いた粉体粒子アセンブル技術によるマイクロアクチュエータ試作
(Micro Actuator Fabricated by Powder Particle Assemblage Using Microprobe Technology)
4th Annual Symposium on Smart Structures and Materials. 1997年03月02日-1997年03月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:12:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:40:27 +0900