Ｍｏ上にマグネトロンスパッタ被覆したＴｉＣ中の内部応力
(Internal Stress in TiC Coated on Mo by Magnetron-Sputter)
高温学会分科会. 1983-07-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:05:49 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:01:57 +0900