反応性バイアススパッタ法によるCrN薄膜の面内配向制御
(Control of in-plane Texturing of CrN Ihim Films by Reactiue Bias-Sputtesing)
第４２回応用物理学会. 1995年03月28日-1995年03月31日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:55:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:31:41 +0900