シリコン表面酸化反応のダイナミクスに関する量子化学的検討
(Quantum chemical study on dynamics of oxidation of silicon surface)
化学工学会. 1997-09-10.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:18:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:43:57 +0900