シリコンのプラズマ酸化における酸素イオンの効果
(Effecb of Oxygen Tons in the Plasma Oxidation of Silicon)
表面科学講演大会. 1994年11月30日-1994年12月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:05:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:30:57 +0900