電子線リソグラフィー技術を利用した材料の変形挙動の観察.
(Observation of Deformation Behavior by Means of Electron Beam Lithography Technique.)
第32回材料研究連合講演会. 1988年12月08日-1988年12月09日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:14:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:07:46 +0900