Mo上のTiC,VCイオンプレーティング膜の密着性に及ぼす基板温度制御の影響
(Effect of Substrate Temperature Control During Deposition on the Asherent of Ion-plated Tic and VC Films on Molybdenum)
Int'l Conf.Ion&Plasma Assisted Technologies. 1981-06-01.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:03:02 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:58 +0900