Ｓｉ添加酸化タングステン薄膜の結晶構造と配向性
(Epitaxial growth of WO3 films and their gas sensing properties)
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022年09月20日-2022年09月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-01-05 12:15:37 +0900 更新時刻: 2023-01-05 12:15:37 +0900