シリサイド／Si薄膜のミクロ組織に及ぼす集束イオンビーム加工の影響
(Effects of Focused Ion Beam Modification on the Microstructure of Silicide/Si Thin Films)
応用物理学会学術講演会 第57回. 1996年09月07日-1996年09月10日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:08:47 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:38:24 +0900