Reduction and removing of Al oxide film deposited on Cu substrate by electron beam
(Cu基板上に蒸着したAl2O3膜の電子線による還元)
3rd International Symposium on Surface Science for Micro-and Nan. 1999年11月29日-1999年12月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:43:33 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:12:19 +0900