ＰＶＤ―ＳｉＣ皮膜のＨ＋イオン照射による特性変化
(Characterization of Irradiated and Unirradiated PVD-SiC Film)
日本原子力学会. 1980年09月17日-1980年09月19日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:02:21 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:27 +0900