高電圧パルスによるグロー放電を用いたプラズマイオン注入の最低動作ガス圧に及ぼす磁場の影響
(Effect of magnetic field on minimum working gas pressure of plasma source ion implantation using a glow discharge ignited by hig)
日本金属学会2001年春季大会. 2001年03月28日-2001年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:39:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:13:13 +0900