超高真空電界放射形電子顕微鏡によるSiナノメートルサイズ構造の創製とHRTEM解析
(Fabrication and HRTEM analysis of nanometer sized structure of Si by UHV FE-TEM)
7th Asia-Pacific Electron Microscopy Conference. 2000年06月26日-2000年06月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:59:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:05:27 +0900