オゾンによるシリコン表面酸化 1 ： （111）表面上での選択酸化
(Oxidation of Si surface with ozone radical: (111) surface)
2001年秋季62回応用物理学会講演大会. 2001年09月11日-2001年09月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:17:51 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:15:21 +0900