Ｍｏ及びＩｎｃｏｎｅｌ合金上に活性化マグネトロンスパッタ被覆したＳｉＯｘの性質
(Properties of SiOx Coated on Mo and Inconel 617 by Reactive Magnetron Sputtering)
日本金属学会. 1983-10-01.
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作成時刻: 2017-02-18 00:06:04 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:02:08 +0900