Tight-Binding Molecular Dynamics Simulation of Dexorbed Sio Molecule during the Oxidation of Si(111)Surface.
(Tighe-Binding分子動力力学を用いたSi表面の酸化過程におけるSio の脱離挙動)
SSDM'98(INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID STATE DEVICES AND MATE. 1998年09月07日-1998年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:02:57 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:30 +0900