イオン注入シリコンの結晶性と水素分子形成
(The Relation between Formation of Hydrogen Molecules and Crystallinity in Si-Implanted ilicon)
応用物理学会. 1998.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:25:52 +0900更新時刻: 2017-07-10 17:47:15 +0900