プラズマ酸化膜に対するプラズマ水素処理の効果
(Hydrogen plasma treatment effects on plasma oxides)
International Workshop on Formation and Reliability of Ultrathin. 1998-01-23.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:24:09 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:46:27 +0900